基于半导体光电位置敏感器件厚度检测仪研制

• 作者: 张霞 李田泽 王淑云
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 位置敏感探测器 双光路消漂移 低温漂放大器
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 光电技术应用
• 页码范围: 132-135
• 页数: 4页
• 分类号: TN929
• 语种: 中文

摘要

首先分析了光线通过薄膜的理论及特点,在此基础上,采用透镜、分束棱镜、滤光片以及新型半导体光电位置敏感器件,设计了一种新型透明体厚度光电检测仪.该仪器中的光学系统设计,采用双光路消漂移方法,消除了光束的漂移等不稳定因素;信号处理电路采用高精度、低温漂放大器等元器件,最大程度地消除了热噪声;对入射光线、被测体、探测器三者之间的相对位置进行了最优化设计.最后,对该仪器的结构、特点以及产生的误差进行了分析,给出了几个重要结论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李田泽	山东理工大学电气与电子工程学院	79	290	10.0	12.0
2	王淑云	山东理工大学电气与电子工程学院	19	39	4.0	5.0
3	张霞	山东理工大学电气与电子工程学院	16	26	3.0	4.0