标准硅球直径测量中的光路对准

• 作者: 叶声华 康岩辉 罗志勇 邾继贵
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 直径测量 干涉环 椭圆度 激光光束对准
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 74-79
• 页数: 6页
• 分类号: TB921|TH741.1
• 字数: 2999字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2010.02.014

摘要

针对标准单晶硅球直径精密测量的需要,本文在介绍标准硅球直径测量系统原理并分析其光路特点的基础上,根据建立的数学模型,对激光束斜入射标准板时产生的椭圆干涉图像进行了分析,并对不同入射角度时干涉环中心点带来的直径测量误差进行了研究.分析结果显示,在给定的实验条件下,当入射角为10~(-3) rad时,误差已达6.6nm.提出了一种精确调整光束垂直入射平板的方法,实验结果表明,此方法能够使光束入射角的调整优于10~(-5)rad,满足系统测量的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶声华	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	292	6282	40.0	63.0
2	邾继贵	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	156	2628	27.0	45.0
3	罗志勇		35	216	8.0	13.0
4	康岩辉	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	3	12	3.0	3.0