有限距离的凸非球面的透镜补偿检验方法

• 作者: 刘希财 沈世东 潘俊鹤 胡明勇 陈小莲
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 应用光学 凸双曲面检验 透镜组补偿检验 三级像差理论 光学设计
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 420-423
• 分类号: TH161
• 字数: 1972字
• 语种: 中文

摘要

在用刀口检验凸双曲面反射镜时,一般采用传统的Hindle球检测法,但是在许多仪器中,需要曲面反射镜全口径使用,因此,Hindle球检测法是不合适的.此外,在很多情况下,刀口到待检非球面的距离很长,从而降低了刀口检验精度.为了解决这些问题,结合口径φ=120mm的凸双曲面的检测,在分析了传统检验方法的基础上,提出了有限距离球面波入射的凸非球面透射补偿检验方法.从设计结果上看,它缩短了刀口到待检非球面的距离,获得高精度补偿.实践表明,这种方法不仅能够提高加工效率,而且提高了加工精度,实际加工完成后,这块凸双曲面的RMS值达到了λ/60.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘俊鹤		4	19	4.0	4.0
5	刘希财		2	5	1.0	2.0
6	胡明勇		3	26	3.0	3.0
7	沈世东		2	9	2.0	2.0
11	陈小莲		1	5	1.0	1.0