硅中氧、碳的二次离子质谱(SIMS)分析

• 作者: 何友琴 王东雪 马农农
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: 硅 相对灵敏度因子 二次离子质谱 定量分析 预溅射
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 40-41,52
• 分类号: TH74
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2010.02.011

摘要

本文采用相对灵敏度因子法,对硅中氧、碳含量的SIMS定量分析方法进行研究.通过对样品进行预溅射的方法,氧、碳的的检测限分别可达到6.0e16atoms/cm3、2.0e16atoms/cm3.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马农农		5	22	3.0	4.0
2	何友琴		4	21	3.0	4.0
3	王东雪		3	20	3.0	3.0