等离子体辐照对第一镜表面反射率的影响研究

• 作者: 鄢容 陈俊凌 陈聚
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 第一镜 反射率 腐蚀 沉积
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 30-32
• 分类号: TG172.1
• 字数: 2867字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2010.04.009

摘要

研究了多晶钼、钨第一镜样品经等离子体辐照前后的表面形貌及反射率变化.实验结果表明:第一镜表面的各个部位在石墨限制器以下所处的区域不同,经等离子体辐照后,处于沉积区的镜面比处于腐蚀区的镜面相对平滑,反射率也相对较高,此外,在保持表面反射率性能方面,钨第一镜样品要优于钼第一镜样品.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈俊凌	中国科学院等离子体物理研究所	43	333	12.0	16.0
2	鄢容	中国科学院等离子体物理研究所	2	4	2.0	2.0
3	陈聚	中国科学院等离子体物理研究所	1	2	1.0	1.0