由正交傅里叶-梅林矩定位的双光纤耦合微内尺度测量

• 作者: 崔继文 谭久彬 陈世丽
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微内尺度测量 双光纤耦合 反向传输 正交傅里叶-梅林矩
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1068-1076
• 分类号: TN253|TB92|TP394.1
• 字数: 3624字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20101805.1068

摘要

为了解决微内尺度的精密测量问题,提出了一种基于正交傅里叶-梅林矩(OFMM's)定位的双光纤耦合瞄准触发式微内尺度测量方法.该方法通过耦合器实现光能量在不同光纤间的反向传输,把双光纤传感器测头的横向位移量转化为光束的偏转量,通过显微成像系统把此偏转量转化为CCD图像捕捉系统更大的横向位移量.为提高测量精度,运用OFMM's的幅值旋转不变性和独特的图像形状细节特征的描述能力对CCD图像捕捉系统的图像信号进行亚像素定位;根据OFMM's的实际位置进行补偿以提高输出图像边缘的定位精度,从而提高测量精度.对OFMM's的定位精度及传感器性能进行了实验验证,并依据JJF(黑)8-2008,利用自行研制的微小孔径测量机实现了对直径为200 μm、深2 000 μm深盲孔的直径测量,其测量重复性不确定度优于0.25 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭久彬	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	140	2284	28.0	42.0
2	崔继文	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	20	416	10.0	20.0
3	陈世丽	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	1	2	1.0	1.0