三点法检测环形平面的平面度误差

• 作者: 吴时彬 戴晓磊 曹学东 杨文志
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 三点法 平面度检测 调零误差 环形平面
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 52-55,62
• 分类号: TH706
• 字数: 2406字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2010.05.010

摘要

基于三点法测量直线度误差原理(三点法误差分离技术),提出了一种新的针对大型环形工件平面度的检测方案.不同于传统的三点法测量直线导轨,该方案以封闭的圆环作为测量对象,测量结果为平面度误差而非直线度误差.叙述了三点法测量原理,以及三点法在大型环形平面的平面度检测中的应用.讨论了调零误差对测量结果的影响.提出一种有效的消除调零误差的数据处理算法,最后对该方法进行了仿真验证和实验.实验结果表明,该方法可以很好地消除调零误差,分离出被测工件的形状误差信号.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴时彬	中国科学院光电技术研究所	52	587	16.0	22.0
2	曹学东	中国科学院光电技术研究所	23	250	9.0	15.0
3	杨文志	中国科学院光电技术研究所	3	40	3.0	3.0
4	戴晓磊	中国科学院光电技术研究所	1	15	1.0	1.0