SAW氢传感器敏感薄膜的研究进展

• 作者: 周俊静 周荣飞
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波 氢传感器 综述 敏感薄膜
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 75-78
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 3948字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2010.01.022

摘要

氢敏薄膜的性质对SAW氢传感器的性能起着至关重要的作用.综述了SAW氢传感器敏感薄膜的国内外研究进展,比较了金属型和金属氧化物半导体(MOS)型薄膜材料的特点,着重阐述了金属氧化物半导体薄膜对SAW的作用机理和改性途径,以及纳米技术在SAW氢传感器敏感薄膜中的应用,展望了氢敏薄膜的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周荣飞	江西师范大学化学化工学院	16	71	5.0	7.0
2	周俊静	江西蓝天学院机电研究所	3	3	1.0	1.0