单片机控制的准分子专用组合电磁阀门

• 作者: 梁勖 游利兵 黄德文
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 准分子 控制 配气 PIC
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 实验装置与技术
• 页码范围: 32-33
• 页数: 2页
• 分类号: TN248.1
• 字数: 1666字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2010.01.013

摘要

介绍了一个用于准分子激光器自动充排气的系统,它由单片机控制的组合电磁阀门构成.文章阐明了系统、机械、电气和软件的结构.在KrF准分子激光器上实现了重复精度较好的自动配气.整体结构紧凑、性能稳定,简化了充配气操作,还可以用它实现自动微调激光气体成分,达到延长工作气体寿命的目的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	游利兵	中国科学院安徽光学精密机械研究所	26	135	8.0	10.0
2	梁勖	中国科学院安徽光学精密机械研究所	27	113	6.0	9.0
3	黄德文	中国科学院安徽光学精密机械研究所	3	22	3.0	3.0