静电谐波微电机的非线性动力学

• 作者: 秦磊 许立忠
• 来源期刊: 微特电机
• 学科: 工学
• 关键词: 谐波微电机 非线性电场力 摄动法 非线性动力学
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 理论研究
• 页码范围: 1-4,7
• 页数: 5页
• 分类号: TM35
• 字数: 3182字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-7018.2010.02.001

摘要

介绍了一种基于静电驱动的新型谐波微电机,描述了该微电机的基本工作原理.分析了柔轮所受的非线性径向电场力,通过引入摄动小参数,得出了Fourier级数形式的径向载荷动态分量.运用Donnell壳理论,建立了非线性系统的动力学模型.在线性系统解的基础上,运用摄动法,通过比较系数和消除久期项,得到初始位移激励下弱非线性系统的近似解.对比发现,非线性系统的频率较线性系统的频率有所减小.讨论了非线性频率随系统参数的变化规律,给出了非线性系统动态响应的规律.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦磊		6	12	2.0	3.0
5	许立忠		81	306	9.0	13.0