溶胶-凝胶ZrO_2/SiO_2薄膜的激光损伤研究

• 作者: 刘强虎 张晓光 李建峰 王毕艺 蒋晓东 袁晓东 郑万国 闫秀生
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 激光损伤阈值 损伤形貌 多层高反膜
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 311-314
• 页数: 4页
• 分类号: O437
• 字数: 1735字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶工艺分别制备了SiO_2和ZrO_2单层薄膜、ZrO_2/SiO_2双层膜以及ZrO_2/SiO_2多层高反膜.用输出波长为1064nm、脉宽为6.3ns的YAG激光器对薄膜进行了激光损伤实验.观察了薄膜经强激光辐照后的损伤情况,讨论了薄膜的激光损伤行为,并从理论上分析了产生这些损伤的原因,为进一步镀制高质量的ZrO_2/SiO_2多层高反膜提供了依据.