低温等离子体技术处理全氟化合物研究进展

• 作者: 孙亚兵 徐建华 李振玉 王惠英 王瑾瑜 缪虹 陈颖
• 来源期刊: 环境科技
• 学科: 地球科学
• 关键词: 全氟化合物 低温等离子体 机理
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 综述与专论
• 页码范围: 59-63
• 分类号: X2
• 字数: 4128字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-4829.2010.02.018

摘要

对低温等离子体技术降解全氟化合物的研究现状、新型技术、成果、存在的问题以及发展方向做了全面综述.着重总结了微波等离子体技术、水等离子体技术、填充床等离子体技术等.简要阐明了低温等离子体技术对全氟化合物的去除机理,以及微波等离手体技术和水等离子体技术对CF4的降解机理.最后总结低温等离子体技术对全氟化合物降解的发展前景.