高温超导滤波器两种刻蚀方法的研究

• 作者: 慕利娟 赵倩 赵宏宇
• 来源期刊: 低温与超导
• 学科: 工学
• 关键词: 高温超导薄膜 滤波器 湿化学刻蚀法 离子束刻蚀法
• 年，卷（期）: 2010,（8）
• 页码范围: 37-39
• 分类号: TN7
• 字数: 2038字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-7100.2010.08.010

摘要

在高温超导滤波器的制备过程中,针对所使用的高温超导薄膜的特点,采用了两种刻蚀方法--湿化学刻蚀法和离子束刻蚀法,设计对比了两种刻蚀的制作流程及其优缺点,并用两种方法分别制备了高温超导滤波器,对微波特性做了对比分析.得出离子束刻蚀对超导薄膜的性能影响要小一些,用此方法制备的高温超导滤波器具有更好的微波特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵宏宇	内蒙古科技大学数理与生物工程学院	39	136	6.0	10.0
2	赵倩	内蒙古科技大学数理与生物工程学院	7	27	3.0	5.0
3	慕利娟	内蒙古科技大学数理与生物工程学院	21	37	2.0	5.0