补偿器法检测非球面过程中易出现的误区

• 作者: 明名 李剑锋 杨飞 林旭东 陈宝刚
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学检测 补偿器 非球面 Zernike多项式
• 年，卷（期）: 2010,（10）
• 页码范围: 116-121
• 分类号: TH75|TN247
• 字数: 4422字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2010.10.020

摘要

补偿器法是测量非球面反射镜面形误差的一种重要的方法.在检测过程中,各个元件之间的调整会带来初级像差,这是影响最终检测结果的一个关键因素.本文以一个1 m 口径的非球面反射镜为例,首先详述了其面形误差检测的设计和测量过程,然后分析了各个元件的调整会带来相应的初级像差,随后给出了实际检测过程中出现的误区,并对其进行了分析和讨论,结合实际的检测过程得出了相应的判断和消除的方法.最后,分别对300 mm、700 mm 口径非球面反射镜与本文1 m 非球面镜的检测结果进行了比较,证明了该误区会使最后的检测数据发生变化,从而使最后的检测结果失真,并验证了先判别后消除方法的可靠性.最后利用正确的方法,检测得到1 m口径非球面被测镜的RMS 面形误差为0.038 λ,满足指标要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林旭东	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	20	272	9.0	16.0
2	明名	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	35	281	9.0	15.0
3	杨飞	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	192	1578	22.0	30.0
4	陈宝刚	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	38	263	10.0	15.0
5	李剑锋	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	38	466	11.0	20.0