大口径光学组件面形检测系统研究

• 作者: 刘楠 张劲峰 张隽楠 徐旭 杨程 程晓峰 范勇 陈念年
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 面形检测 角差法 五棱镜
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 仪表与传感器
• 页码范围: 13-17,22
• 页数: 6页
• 分类号: TP212
• 字数: 3540字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2010.03.004

摘要

利用角差法原理设计了一种集高精度测角仪与五棱镜于一体的面形检测系统,实现了大口径平面镜不同姿态下的面形测试.系统主要由光学系统、三雏运动平台、图像处理系统和面形数据绘制与管理等组成,突破常规"以大测大"的高成本检测方法.实验结果表明,水平方向上的均方根误差(RMS)为0.03 μm,垂直方向上的RMS为0.07μm,全面形的RMS为0.06μm,能满足检测需要.