Nb/Al-AlOx/Nb隧道结制备中压控电压源阳极氧化工艺研究

• 作者: 吴培亨 康琳 曹春海 李梦月 查士同 许伟伟 许钦印 陈健
• 来源期刊: 低温与超导
• 学科: 物理学
• 关键词: 阳极氧化 隧道结 Nb/Al-AlOx/Nb
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 所属期刊栏目: 超导技术
• 页码范围: 31-33
• 分类号: O51
• 字数: 1672字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-7100.2010.05.008

摘要

采用计算机程控的压控电压源阳极氧化模式研究制备出自对准Nb/Al-AlOx/Nb隧道结的绝缘层Nb2O5/Al2O3/Nb2O5.研究了氧化电压、氧化层的厚度和氧化时间的关系.当阳极氧化电压变化率低于8V/min时,阳极氧化层的厚度基本取决于氧化电压的大小,而与氧化电压变化率无关.我们已采用电压源阳极氧化技术成功制备出超导Nb/Al-AlOx/Nb隧道结.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许伟伟	南京大学超导电子学研究所	69	148	6.0	9.0
2	吴培亨	南京大学超导电子学研究所	93	237	8.0	12.0
3	康琳	南京大学超导电子学研究所	57	212	8.0	12.0
4	陈健	南京大学超导电子学研究所	73	202	7.0	11.0
5	曹春海	南京大学超导电子学研究所	15	10	2.0	3.0
6	李梦月	南京大学超导电子学研究所	5	9	2.0	3.0
7	许钦印	南京大学超导电子学研究所	4	12	2.0	3.0
8	查士同	南京大学超导电子学研究所	1	5	1.0	1.0