微加速度计冲击可靠性及防护

• 作者: 张斌珍 王世涛 贾玉斌 郝一龙 黄钦文
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微加速度计 可靠性 冲击 缓冲材料 金属橡胶
• 年，卷（期）: 2010,（12）
• 页码范围: 1690-1694
• 分类号: TP2O2|TP212.1|TM930.4
• 字数: 3055字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2010.12.004

摘要

通过实验研究了梳齿电容微加速度计器件在大过载冲击下的失效模式,发现了失效的主要原因是由于弹性梁的断裂,并对实验现象进行了分析和讨论,指出了微加工工艺的不确定性对器件失效的影响.检验了在结构设计中对可动质量块进行限位的作用,可以明显提高器件的抗冲击能力.提出了金属橡胶这一新材料在微加速度计冲击防护中的应用,并对其作用进行了实验验证,结果表明金属橡胶除了靠金属螺旋卷接触点之间的相互摩擦来耗散能量外,还可以明显增加冲击脉冲的宽度,有效的缓冲和吸收冲击能,提高器件的抗冲击能力和可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾玉斌	北京大学微电子学研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室	11	151	7.0	11.0
2	王世涛	北京大学微电子学研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室	1	6	1.0	1.0
6	张斌珍	北京大学微电子学研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室	1	6	1.0	1.0
7	黄钦文	工业和信息化部电子第五研究所电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室	2	9	2.0	2.0