多晶硅尾气处理与净化工艺研究进展

• 作者: 周俊波 马晔风
• 来源期刊: 氯碱工业
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 尾气回收 分离方法
• 年，卷（期）: 2010,（9）
• 页码范围: 1-4
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 4201字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-133X.2010.09.001

摘要

综述国内外多晶硅的生产工艺及尾气处理方法的研究进展,探讨生产多晶硅的常用6种工艺及其优缺点,重点阐述多晶硅尾气的分离回收技术、从开路控制到闭路控制的发展过程及闭路循环技术的优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周俊波	北京化工大学机电工程学院	50	190	8.0	11.0
2	马晔风	北京化工大学机电工程学院	2	64	2.0	2.0