Lamb波压差式微流量传感器的研究

• 作者: 光玲玲 贾宏光
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 微流体系统 微流量传感器 Lamb波
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 压电功能器件
• 页码范围: 63-66
• 页数: 4页
• 分类号: TN603|TP212|TH814
• 字数: 2875字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2010.01.018

摘要

为提高微小流量检测的灵敏度,增大其动态范围,提出了一种基于Lamb波的压差式微流量测试方法.采用双Lamb波压力传感器分别测量微通道两端的压力,通过压力差、微通道的几何尺寸及流动特性计算出流量.结果表明,以Lamb波为探测媒介,采用薄膜内应力敏感方式和频率计量方法,提高了传感器灵敏度、动态范围和测量精度;采用双Lamb波压力传感器不仅克服了背压对传感器精度的影响,同时消除了温度变化对测量结果带来的误差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾宏光	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	120	1499	18.0	33.0