(001)高度择优取向Ba0.6Sr0.4TiO3/Pt异质结的结构及性能

• 作者: 刘保亭 娄建忠 张金平 李曼 王军 郭哲
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: BST薄膜 脉冲激光沉积 导电机制
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 1475-1478,1498
• 分类号: O484.4
• 字数: 2903字
• 语种: 中文

摘要

采用射频磁控溅射法结合高真空后退火处理,在MgO(001)单晶基片上制备了Pt薄膜.应用脉冲激光沉积法在Pt/MgO上进一步生长了Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜.借助X射线衍射仪(XRD)、铁电测试仪、LCR表研究了BST/Pt/MgO的结构和性能.研究发现,700 ℃真空退火可以保证Pt薄膜在MgO基片上实现(001)高度择优生长,以(001)Pt薄膜为模板,可以进一步获得(001)高度择优取向具有铁电性能BST薄膜.在100 Hz测试频率下,BST薄膜最大介电常数为1100、调谐率为81%、品质因数为21;在7 V的电压下,漏电流密度1.85×10-5 A/cm2,进一步分析表明,BST薄膜在0～2.6 V之间满足欧姆导电机制,在2.6～7 V之间满足普尔-弗兰克导电机制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘保亭	河北大学物理科学与技术学院	84	302	10.0	13.0
2	李曼	河北大学物理科学与技术学院	13	54	4.0	7.0
3	张金平	河北大学物理科学与技术学院	37	110	6.0	8.0
4	郭哲	河北大学物理科学与技术学院	4	10	1.0	3.0
5	王军	河北大学物理科学与技术学院	14	35	4.0	5.0
6	娄建忠	河北大学电子信息工程学院	25	64	5.0	6.0