钽酸锂薄膜红外探测器探测性能的模拟研究

• 作者: 张德银 张熙 彭卫东 罗文田
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 探测率 红外探测器 钽酸锂薄膜 理论模拟
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 60-63
• 页数: 4页
• 分类号: TN215
• 语种: 中文

摘要

建立了热释电钽酸锂薄膜红外探测器理论模型,用五层薄膜系统模拟了探测器结构,用钽酸锂晶体参数,模拟了探测器结构参数与探测率等性能指标之间的关系,研究了硅衬底厚度和钽酸锂薄膜厚度对探测器性能的影响.模拟结果显示,硅衬底彻底腐蚀形成悬空结构是减小探测器热传导损耗的最有效途径;热释电钽酸锂膜层越薄,器件探测率越高.探测器电压响应同时取决于钽酸锂膜层厚度和探测器外接电路参数.使探测器整体性能最佳的钽酸锂膜层厚度为1～2 μm.