SrRuO3导电层对快速退火制备Pb(Zr,Ti)O3薄膜结构和性能的影响

• 作者: 倪志宏 刘保亭 周阳 李丽 李曼 王宽冒 赵敬伟
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 钌酸锶 锆钛酸铅 快速退火
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 608-612,627
• 分类号: O484
• 字数: 4072字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上,制备了Pt/Pb(Zr,Ti)O3(PZT)/Pt和SrRuO3(SRO)/PZT/SrRuO3(SRO)异质结电容器,并研究了快速退火条件下SRO导电层对PZT结构和性能的影响.XRD测试表明,两种结构电容器中的PZT薄膜均为钙钛矿结构,SRO/PZT/SRO、Pt/PZT/Pt均具有较好的铁电性和脉宽依赖性,5 V电压下两电容器的剩余极化强度Pr和矫顽电压Vc分别为28.3 μC/cm2、1.2 V和17.4 μC/cm2、2.1 V.在经过1010次翻转后,SRO/PZT/SRO铁电电容器疲劳特性相对于Pt/PZT/Pt电容器有了较大的改善,但SRO导电层的引入也带来了漏电流增大的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘保亭	河北大学物理科学与技术学院	84	302	10.0	13.0
2	王宽冒	河北大学物理科学与技术学院	9	52	5.0	7.0
3	李曼	河北大学物理科学与技术学院	13	54	4.0	7.0
4	倪志宏	河北大学计算中心	14	108	5.0	10.0
5	周阳	河北大学物理科学与技术学院	21	130	7.0	11.0
6	李丽	河北大学物理科学与技术学院	40	358	7.0	18.0
7	赵敬伟	河北大学物理科学与技术学院	4	11	2.0	3.0