化学气相输运法制备ZnO晶体

• 作者: 尹利君 张晓军 张金平 武明晓 董国义 郭树青 韦志仁 高平 黄存新
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 化学
• 关键词: ZnO晶体 化学气相输运 摇摆曲线
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 1261-1264
• 分类号: O614.24
• 字数: 1900字
• 语种: 中文

摘要

采用化学气相输运法在常压开放系统中,以ZnO粉体为原料,HCl和NH3为输运气体,O2和H2O为反应气体,适度过量的HCl作为刻蚀性气体,在(0001)方向的蓝宝石籽晶片上制备了(0002)方向定向生长的ZnO晶体,且a、b轴生长速度明显高于c轴方向.以(0002)方向的ZnO籽晶片作基片,制备了ZnO单晶厚膜,晶体呈螺旋状外延生长,正极面的单晶摇摆曲线半高宽为543.6弧秒.