新型激光二极管列阵光束整形方法

• 作者: 冯小明 刘媛媛 刘素平 吴芃 李伟 王翠鸾 韩淋 马骁宇
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体激光器 光束整形 双面分区镀膜的平面反射镜 高亮度
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 器件制造与应用
• 页码范围: 50-53
• 页数: 4页
• 分类号: TN248
• 字数: 2696字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2010.01.012

摘要

设计并制作了一套简单有效的光束整形系统,用以改善激光二极管列阵器件(LDA)的光束质量,减小快慢轴光束质量积的差别,实现高亮度光纤耦合输出.首先采用快慢轴准直透镜压缩LDA的发散角,然后采用双面分区镀膜的单片平面镜,通过反射和折射将压缩后的LDA慢轴方向的光束分为7束,并将7束子光束在快轴方向重新排列,实验测得整形装置的效率为95.2%.该整形系统设计简单,效率高,具有很高的应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马骁宇	中国科学院半导体研究所	93	616	12.0	21.0
2	李伟	中国科学院半导体研究所	315	4950	35.0	61.0
3	吴芃	中国科学院半导体研究所	4	34	3.0	4.0
4	王翠鸾	中国科学院半导体研究所	13	48	5.0	6.0
5	韩淋	中国科学院半导体研究所	44	55	5.0	6.0
6	刘媛媛	中国科学院半导体研究所	30	168	8.0	12.0
7	冯小明	中国科学院半导体研究所	14	131	7.0	11.0
8	刘素平	中国科学院半导体研究所	37	253	7.0	15.0