静电驱动光开关的结构设计与驱动电压分析

• 作者: 朱化凤 贾翠萍
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光开关 驱动电压 静电驱动
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 所属期刊栏目: 技术专栏(光电器件技术)
• 页码范围: 440-442
• 分类号: TN302
• 字数: 1263字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2010.05.006

摘要

对静电驱动光开关的驱动结构进行了研究分析,对比分析了采用平面下电极和倾斜下电极两种驱动结构光开关的驱动电压.采用倾斜下电极光开关的pull-in电压较低,在此基础之上,提出了一种双倾斜电极三明治驱动结构光开关.在微反射镜偏移相同距离时,该种驱动结构光开关的pull-in电压更低,从而能够更进一步地提高光开关的性能.