微型等离子体光谱仪激发源的研究与进展

• 作者: 周颖昌 李小佳 王占友 王永清 王海舟
• 来源期刊: 冶金分析
• 学科: 工学
• 关键词: 光谱仪 微型 等离子体 激发源
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 17-23
• 页数: 7页
• 分类号: TG115.3
• 字数: 4814字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7571.2010.01.004

摘要

微型化、集成化是光谱仪器发展的重要趋势之一.激发源的微型化对研发微型光谱仪器至关重要.本文以微等离子体的产生方式为主线,详细阐述了微型直流等离子体激发源(M-DCPS)、微型电感耦合等离子体激发源(M-ICPS)和微波开口环谐振器式等离子体激发源(M-SRRPS),给出了这些激发源的相关数据参数,并对其装置和原理做了简要的叙述.同时对这些激发源的优缺点及其参数指标作了简要的评述.简要介绍了其他微等离子激发源,探讨了微等离子体激发源潜在的应用领域,并展望了微等离子体激发源的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周颖昌	河北大学电子信息工程学院	7	20	3.0	4.0
2	王占友	河北大学电子信息工程学院	1	8	1.0	1.0