用于单电子自旋探测微悬臂梁的制作及端头磁针尖设计

• 作者: 刘勇 孔雯 褚家如 赵钢 陈宇航
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁共振力显微镜 悬臂梁 磁针尖 电子自旋
• 年，卷（期）: 2010,（10）
• 页码范围: 1399-1402
• 分类号: TP212
• 字数: 2279字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2010.10.007

摘要

提出一种用于单电子自旋探测微悬臂梁的制作方法.采用顶层Si厚度为1μm的SOI硅片,在器件层刻蚀出悬臂梁图形后,利用热氧化将Si梁减薄至0.5μm,同时生成SiO2保护层.在KOH溶液进行体硅刻蚀过程中,以黑蜡和SiO2保护层作为正面保护,之后用溶液置换方法完成埋氧层去除及悬臂梁清洗过程.悬臂梁尺寸为465 μm×10 μm×0.5μm,室温真空中Q值为23 000,在低温环境中可以满足单电子自旋探测要求.分析比较了球体、圆锥体、圆柱体三种磁针尖磁场梯度分布,为磁针尖结构设计提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	褚家如	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	76	566	14.0	19.0
2	刘勇	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	211	1777	22.0	33.0
3	赵钢	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	28	121	7.0	9.0
4	陈宇航	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	20	96	6.0	8.0
5	孔雯	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	2	5	2.0	2.0