农药浓度光波导传感制备工艺研究

• 作者: 杨帅 王逸鸣 邹任玲 陈抱雪
• 来源期刊: 农机化研究
• 学科: 工学
• 关键词: 有机磷农药 导波光学 光波导技术 磁控溅射 均匀折射率波导
• 年，卷（期）: 2010,（9）
• 页码范围: 58-60,64
• 分类号: TP211+.6
• 字数: 2173字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-188X.2010.09.015

摘要

研究了农药浓度的光波导传感制备工艺,采用磁控溅射技术,在石英基板上制备康宁1737玻璃波导的工艺;同时,分析了成膜条件以及控制膜厚的因素.实验结果表明,溅射功率和靶基距是影响溅射沉积速率的关键因素, 采用射频功率为100～200W、靶基距为4～6cm,衬底温度为20～25℃、真空度为0.38Pa、溅射时间为2～4h的工艺条件可以获得较快的沉积速率并形成良好的单膜波导,可为农药浓度的检测提供一种新的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈抱雪	上海理工大学光电学院	94	435	11.0	16.0
2	邹任玲	上海理工大学医疗器械与食品学院	67	263	10.0	14.0
6	杨帅	同济大学汽车学院	27	87	4.0	8.0
7	王逸鸣	上海理工大学光电学院	1	0	0.0	0.0