微波烧结对纳米ZnO气敏元件性能改进研究

• 作者: 丁红 柏自奎
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微波烧结 纳米ZnO 气敏性能 稳定性
• 年，卷（期）: 2010,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 74-76
• 分类号: TP212.9
• 字数: 1845字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2010.09.024

摘要

分析了微波烧结的原理和特点,并将其引入气敏元件的制备工艺中,研究微波烧结工艺对纯纳米ZnO厚膜阵列元件的气敏性和稳定性的影响.实验表明:微波烧结ZnO厚膜时间越长,厚膜电导和敏感性越小.在20,40,60 min 3种烧结对比中,20 min烧结的元件具有最好的敏感性和最低的最佳敏感温度,60min烧结的元件具有最好的稳定性.可见微波烧结可以有效调控气敏元件的敏感性和稳定性,是一种值得推广的新的气敏元件的制备技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	柏自奎	华中科技大学材料学院塑性成型及模具技术国家重点实验室	9	127	6.0	9.0
2	丁红	上海第二工业大学计算机学院	12	47	4.0	6.0