在HNO3/HF混合液中反应副产物对腐蚀特性的影响

• 作者: 刁宏伟 周春兰 李海玲 王文静 赵雷
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 化学
• 关键词: 多晶制绒 腐蚀速率 表面形貌
• 年，卷（期）: 2010,（9）
• 页码范围: 1150-1153
• 分类号: O64
• 字数: 3127字
• 语种: 中文

摘要

在多晶硅制绒中,通过调整HNO3、HF和水或醋酸的比例可以很好地控制制绒的过程并得到理想的绒面.但是在腐蚀过程中随着HNO3、HF和硅的消耗会产生大量的副产品(如H2SiF6,HNO2、N2O3等),该文通过在反应腐蚀液中预溶解一些硅的方法研究了反应副产品对制绒特性的影响.发现随着预溶硅的增加,在富HNO3溶液中反应速度出现了先上升后下降的趋势,而在富HF的溶液中反应速度出现了线性下降.最后,针对反应副产物亚硝酸对制绒特性的影响进行了分析.