旋转式微发电机研究现状及发展趋势

• 作者: 孙韶春 石庚辰
• 来源期刊: 微电机
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 旋转式发电机 结构 材料 工艺
• 年，卷（期）: 2010,（8）
• 页码范围: 75-78
• 分类号: TM359.9
• 字数: 1907字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-6848.2010.08.019

摘要

基于MEMS技术的微发电机体积小、可长期使用,成为研究的热点.目前微发电机主要分为振动式和旋转式两大类:振动式微发电机结构简单,但能量密度小;旋转式微发电机可在高转速下工作,产生高的能量密度.描述了旋转式微发电机的工作原理与特点.着重介绍了旋转式微发电机的研究现状,列举了典型的研究成果,总结了其所用的结构、材料和加工工艺.指出了旋转式微发电机的发展趋势,即寻求简化装配、适合大批量生产的材料与工艺.旋转式微发电机的出现,使"小机器产生大功率"的设想成为可能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石庚辰	北京理工大学机电工程与控制国家级重点实验室	54	627	15.0	23.0
2	孙韶春	北京理工大学机电工程与控制国家级重点实验室	3	9	2.0	3.0