表面粗化提高绿光LED的光提取效率

• 作者: 史会芳 李培咸 李慧 赵广才
• 来源期刊: 电子科技
• 学科: 工学
• 关键词: 三角坑 LED外延片 表面粗化 外量子效率
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 所属期刊栏目: 光电·材料
• 页码范围: 25-28
• 分类号: TN305.2
• 字数: 1630字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7820.2010.06.008

摘要

介绍了通过出光表面粗化减少全反射的方法.理论计算了以腐蚀坑为三角坑的最优尺寸.实验使用熔融KOH腐蚀绿光LED外延片获得预计的粗糙形貌,再通过常规工艺制成器件,结果给出不同表面做成器件的光强.实验证明经过表面粗化处理的器件,外量子效率提高了约25.7%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李慧	西安电子科技大学技术物理学院	40	131	8.0	9.0
2	李培咸	西安电子科技大学技术物理学院	36	324	10.0	17.0
3	史会芳	西安电子科技大学技术物理学院	2	14	2.0	2.0
4	赵广才	西安电子科技大学技术物理学院	3	31	3.0	3.0