光子晶体波导对垂直腔面发射激光器光束远场形貌的调控

• 作者: 刘安金 周文君 渠红伟 邢名欣 郑婉华 陈微
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光子晶体波导 垂直腔面发射激光器 发散角
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 唯象论的经典领域
• 页码范围: 1035-1039
• 分类号: O371
• 语种: 中文

摘要

研究了光子晶体波导对垂直腔面发射激光器(VCSEL)光束远场形貌的调控.采用三层对称平板波导模型分析了影响光子晶体VCSEL(PC-VCSEL)远场发散角的参数.研究表明,PC-VCSEL中光子晶体的填充比(空气孔直径和光子晶体周期的比值)以及空气孔的刻蚀深度控制了光束的发散角,低填充比和浅刻蚀的PC-VCSEL有利于获得低发散角的光束.设计并制作了两种不同结构参数的PC-VCSEL,这两种器件中光子晶体的填充比和空气孔的刻蚀深度不同.实验结果表明,低填充比和浅刻蚀的PC-VCSEL的发散角更低,与理论分析符合得很好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘安金	中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室	3	6	1.0	2.0
2	邢名欣	中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室	9	53	5.0	7.0
3	渠红伟	中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室	12	34	3.0	5.0
4	陈微	中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室	6	15	2.0	3.0
5	周文君	中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室	5	32	3.0	5.0
6	郑婉华	中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室	23	102	7.0	9.0