拉晶工艺中直拉硅单晶氧含量的优化研究

• 作者: 冯磊 汪贺杏 王丽
• 来源期刊: 太阳能
• 学科: 工学
• 关键词: 抽气速率 等径功率 埚转转速 投料量
• 年，卷（期）: 2010,（11）
• 页码范围: 41-43
• 分类号: TM92|TK51
• 字数: 2125字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0417.2010.11.012

摘要

采用直拉法拉制硅单晶,在拉晶过程中,研究了不同型号机械泵、等径功率、坩埚转速及投料量等工艺参数对硅单晶氧含量的影响.结果显示:用抽气速率大的80泵,等径功率下降至58kW,坩埚转速降低至6.4rmp/min,投料量降低至68kg,均可以降低硅单晶氧含量,并在此基础上得出合理的拉晶生产工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王丽	上海九晶电子材料股份有限公司技术研发部	2	1	1.0	1.0
2	汪贺杏	上海九晶电子材料股份有限公司技术研发部	2	1	1.0	1.0
3	冯磊	上海九晶电子材料股份有限公司技术研发部	1	0	0.0	0.0