基于双共焦传感器的薄膜厚度测量技术

• 作者: 李朝阳 杨蒙生 邢丕峰 马小军 高党忠
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 共焦 薄膜 厚度 测量
• 年，卷（期）: 2010,（z1）
• 页码范围: 576-578
• 分类号: TL33
• 语种: 中文

摘要

研究了基于双共焦传感器的薄膜厚度测量技术,搭建实际系统对自支撑Au、Mo膜进行测量.结果表明,该系统有效消除了薄膜翘曲、不完全展平的影响,测量精度达到干涉仪水平.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马小军		36	107	5.0	8.0
2	邢丕峰		59	303	9.0	14.0
3	高党忠		44	290	11.0	15.0
4	杨蒙生		17	53	3.0	7.0
5	李朝阳		25	184	9.0	12.0