355 nm ZrO2凝胶色分离光栅的设计和衍射效率测量

• 作者: 刘春泽 吴广明 周斌 周昌鹤 张志华 沈军
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 衍射效率 色分离光栅 ZrO2 溶胶-凝胶
• 年，卷（期）: 2010,（8）
• 页码范围: 984-988
• 分类号: O484
• 语种: 中文

摘要

基于光敏凝胶法二元光学元件制作工艺,设计制作了ZrO2介质色分离光栅.使用白光干涉仪和椭圆偏振光谱仪分别测试了光栅的几何结构参数和折射率;编制程序计算了光栅的理论衍射效率;搭建光路实测了光栅在设计波长的分频效果,并与理论值进行了对比分析.结果显示,对波长为355 nm的激光,光栅的零级效率接近70%,而对1 064 nm和532 nm的激光,其残留约13%,理论计算值与实测结果符合较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周斌	同济大学上海市人工微结构材料与技术重点实验室	140	1582	22.0	31.0
2	沈军	同济大学上海市人工微结构材料与技术重点实验室	199	2285	26.0	36.0
3	吴广明	同济大学上海市人工微结构材料与技术重点实验室	118	1607	22.0	32.0
4	张志华	同济大学上海市人工微结构材料与技术重点实验室	52	554	14.0	22.0
5	刘春泽	同济大学上海市人工微结构材料与技术重点实验室	7	58	4.0	7.0
6	周昌鹤	同济大学上海市人工微结构材料与技术重点实验室	5	19	2.0	4.0