电容式加速度计读出电路芯片设计

• 作者: 孔德义 朱荣华 李庄 江儒龙 熊剑平 郭攀
• 来源期刊: 仪表技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式加速度计 读出电路 开关电容积分电路 低噪声运放 采样保持电路
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 12-14
• 页数: 3页
• 分类号: TM934.2
• 字数: 1008字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-2394.2010.01.005

摘要

针对实验室的差分电容变化量为fF量级、频带宽度为0～20kHz的电容式加速度计,设计了一种可以有效减少噪声、失调电压和寄生电容影响的读出电路.该电路由开关电容积分电路、低噪声运放和单位增益采样保持电路组成.在0.5μm 2P3M CMOS工艺下完成该电路设计,通过仿真结果表明,该电路的输出电压与差分电容变化量成很好的线性关系,可以检测差分电容变化量达到fF量级.