La0.6Sr0.4CoO3薄膜的制备及NTC特性研究

• 作者: 娄非志 张继华 杨传仁 杨莉军 陈宏伟
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: La0.6sr0.4CoO3薄膜 RF磁控溅射法 结晶性能 NTC特性
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 4-6
• 分类号: TN37
• 字数: 1474字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2010.06.002

摘要

为研制具有较低室温电阻值的NTC薄膜热敏电阻,以La0 6Sr0.4CoO3陶瓷为靶材,采用RF磁控溅射法,在Al2O3基片上沉积了La0.6sr0.4CoO3(LSCO)薄膜.研究了溅射过程中氩氧体积流量比对LSCO薄膜结晶性能和方阻的影响以及LSCO薄膜的阻温特性.结果表明:随着氩氧体积流量比的增加,LSCO薄膜的主晶相衍射峰强度及方阻均先增大后减小.LSCO薄膜具有显著的NTC特性,室温时的电阻温度系数α25为2.24×10-5;其InR-T-1曲线具备良好的线形度,线性偏差仅为2.09%;另外,其室温时的电阻R25仅为18.75 kΩ.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨传仁	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	69	525	11.0	18.0
2	陈宏伟	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	51	360	10.0	15.0
3	娄非志	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	11	2.0	2.0
4	张继华	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	47	193	8.0	9.0
5	杨莉军	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	3	1.0	1.0