静电梳齿结构横向间隙的边缘效应分析

• 作者: 王威 董林玺 许立
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 静电梳齿 横向间隙 边缘效应
• 年，卷（期）: 2010,（8）
• 页码范围: 26-28
• 分类号: TN303
• 字数: 1603字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2010.08.008

摘要

提出静电驱动梳齿结构横向静电力的边缘效应问题.通过对传统平行板电容器的静电力分析,着重研究了横向梳齿间距和驱动电压对边缘效应与静电力的影响,并与Ansoft有限元仿真结果对比.结果表明:当大间隙时,梳齿受到的边缘效应不明显,但较大电压时会出现静电力与电压平方的非线性现象;当小间隙时,平行板电容器模型公式不再适用,间隙值越小,电压越大时,耦合作用越明显,梳齿横向静电力越大,受到边缘效应的影响越大,横向静电力不再为恒定值.