纳米硅薄膜超微压力传感器设计与性能研究

• 作者: 丁建宁 凌智勇 沈思国 潘海彬 程广贵 范真
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米硅薄膜 超微压压力传感器 结构 性能
• 年，卷（期）: 2010,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 62-64
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2047字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2010.10.020

摘要

利用纳米硅薄膜良好的力学与电学特性,设计出超微压压力传感器芯片结构:双岛-梁-膜结构.利用ANSYS进行了静力分析、模态分析、谐反应分析、瞬态分析,结果表明:该结构具有灵敏度高、线性度好、动态响应快等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘海彬	江苏大学微纳米研究中心	18	306	11.0	17.0
2	凌智勇	江苏大学微纳米研究中心	54	400	12.0	17.0
3	丁建宁	江苏大学微纳米研究中心	146	769	14.0	19.0
7	范真	江苏大学微纳米研究中心	61	532	11.0	20.0
8	程广贵	江苏大学微纳米研究中心	48	176	8.0	12.0
9	沈思国	江苏大学微纳米研究中心	1	9	1.0	1.0