射频磁控溅射法沉积透明柔性导电CdO薄膜

• 作者: 吴秋红 季振国 毛启楠
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化镉 薄膜 射频磁控溅射 方块电阻 电阻率
• 年，卷（期）: 2010,（12）
• 页码范围: 1170-1173
• 分类号: TN305.92
• 字数: 2324字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2010.12.007

摘要

随着透明电子器件和柔性显示器的发展,柔性透明导电薄膜正在受到越来越多的关注.采用射频磁控溅射法在柔性衬底上低温沉积高透过率、低电阻率的CdO薄膜.研究了O2流量对薄膜的结晶性能、光学性质和导电性能的影响.研究结果表明,室温下沉积的CdO薄膜均为结晶性能良好的立方结构薄膜,(200)取向性明显.另一方面,O2流量对CdO薄膜的光电性能有很大的影响.O2流量过小时,薄膜的透光率较差,而当O2流量较大时,薄膜的电阻率较大,当O2流量大于3 cm3/min时,光学透光率不再有大的变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	季振国	杭州电子科技大学电子信息学院	48	467	12.0	19.0
5	毛启楠	浙江大学硅材料国家重点实验室	6	10	2.0	2.0
6	吴秋红	杭州电子科技大学电子信息学院	1	0	0.0	0.0