激光干涉仪在10米测长机导轨直线度检测中的应用

• 作者: 何梦佳 司卫征 林建荣
• 来源期刊: 计量与测试技术
• 学科: 交通运输
• 关键词: 十米光栅测长机 激光干涉仪 直线度 动态测量
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 所属期刊栏目: 计测技术
• 页码范围: 40-41
• 分类号: U2
• 字数: 875字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-6941.2010.06.023

摘要

为检测10米光栅测长机导轨的直线度,采用双频激光干涉仪系统作为主要测量工具,以最佳平方逼近法计算10米光栅测长机导轨的直线度.根据双频激光干涉仪的测量直线度测量原理,结合直线度的评定方法,对10米光栅测长机导轨的直线度的测量方法进行了介绍.实验表明,采用双频激光干涉仪测量直线度的方法实用,较为准确、方便、直观.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何梦佳		4	28	3.0	4.0
2	司卫征		4	37	4.0	4.0
3	林建荣		1	13	1.0	1.0