KDP晶体超声辅助磨削的亚表面损伤研究

• 作者: 滕晓辑 王强国 王碧玲 裴志坚 高航 鲁春朋
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 化学
• 关键词: KDP晶体 磨削 超声辅助加工 亚表面损伤 角度抛光
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 67-71
• 页数: 5页
• 分类号: O643
• 字数: 2416字
• 语种: 中文

摘要

通过采用角度抛光和逐层抛光法以及择优化学腐蚀,对基于超声辅助磨削的KDP晶体试件进行亚表面损伤形式观察以及损伤深度检测,以便为后续加工提供指导.损伤检测实验表明:在超声辅助磨削工艺条件下,亚表面损伤以与磨粒运动方向平行的中位裂纹为主,且裂纹间距具有一定的规律性;亚表面损伤深度为19～48 μm,磨头形状(有无倒角)较之磨头磨粒粒度对亚表面损伤深度具有更大的影响,使用有倒角的磨头可得最小亚表面损伤.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高航	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	69	830	18.0	26.0
2	滕晓辑	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	6	79	4.0	6.0
3	鲁春朋	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	3	68	3.0	3.0
4	王强国	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	3	103	3.0	3.0
5	王碧玲	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	5	80	4.0	5.0