多晶硅制备的一体化电气系统设计及应用

• 作者: 冯玉东 孙利娟 贺明智 赵荣华
• 来源期刊: 电工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 改良西门子法 高压启动 闭环控制
• 年，卷（期）: 2010,（9）
• 页码范围: 37-38,57
• 分类号: TM7
• 字数: 1889字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1388.2010.09.020

摘要

基于改良西门子法多晶硅生产方式,设计了一套集启动装置和还原装置一体化的多晶硅还原炉电气系统,并实现远程集中控制,采用了基于电流和温度反馈两种控制变量设计控制算法,实现了在不同温度条件下电气控制系统实时自适应调节.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贺明智	北京交通大学电气工程学院	20	227	7.0	14.0
5	赵荣华		2	7	2.0	2.0
6	冯玉东		1	3	1.0	1.0
7	孙利娟		2	8	2.0	2.0