真空环境下微流道沟槽的激光铣削试验

• 作者: 吴勇波 徐文骥 李建丽 王续跃 王连吉 胡亚峰
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光学制造 激光铣削 微流道沟槽 塑胶模具钢 真空环境
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: 激光应用
• 页码范围: 1138-1142
• 页数: 5页
• 分类号: TG142.7|TG665
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL20103704.1138

摘要

采用Nd:YAG激光器,在真空环境下,进行高硬镜面塑胶模具钢(HPM75)的微流道沟槽激光铣削试验研究.研究真空环境下铣削机理及真空度对铣削尺寸和表面质量的影响.研制真空调节系统,调节激光铣削区域状态,进行大气环境和真空环境下的对比试验.结果表明,当真空压力在-0.07～-0.5MPa范围时,排屑量增加1.6Y-3.3%.在铣削优化参数下,与大气环境下激光铣削相比,铣削宽度增加,排屑量增加;可以铣出的沟槽宽度和深度分别为0.225和0.058mm;真空环境减小了背景气压阻力,提高了熔屑排除力,可以铣削出满足微流道沟槽尺寸和精度要求的沟槽,是一种有效的激光铣削加工辅助工艺.