稀土La掺杂SnO2薄膜气敏特性

• 作者: 李健 汪良 谢俊叶
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 物理学
• 关键词: 真空蒸发 氧化 热处理 SnO2薄膜 La掺杂 气敏特性
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 55-57,61
• 分类号: O484.4
• 字数: 3849字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2010.01.018

摘要

用真空热蒸发两步法在玻璃衬底制备SnO2和La掺杂SnO2薄膜.研究氧化、热处理工艺和La掺杂含量对SnO2薄膜结构、气敏特性的影响.结果显示:经T=550℃,t=45 min氧化、热处理后,得到n型金红石结构SnO2薄膜.适当掺La可改善SnO2薄膜结晶状况,掺La后SnO2薄膜对气体的选择性和灵敏性均得到明显的改善,在气体体积分数为1×10-2时,掺La(5%)的SnO2薄膜对乙醇的灵敏度为12;掺La(3%)的SnO2薄膜对丙酮的灵敏度可达到14.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李健	内蒙古大学物理科学与技术学院	36	200	7.0	12.0
2	谢俊叶	内蒙古大学物理科学与技术学院	2	10	2.0	2.0
3	汪良	内蒙古大学物理科学与技术学院	3	15	2.0	3.0