羟基乙酸酸洗缓蚀剂的性能研究

• 作者: 刘世川 刘彦锋 程雯 郭鹏涛 陈晓东 马思远
• 来源期刊: 广东化工
• 学科: 工学
• 关键词: 羟基乙酸 甲酸 缓蚀剂 酸洗
• 年，卷（期）: 2010,（8）
• 页码范围: 112-113,124
• 分类号: TQ
• 字数: 3377字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-1865.2010.08.054

摘要

文章对羟基乙酸的酸洗机理做了综述,重点介绍了缓蚀剂在羟基乙酸和甲酸混酸介质中的酸洗性能.结果表明:缓蚀剂在4%羟基乙酸和2%甲酸的酸洗介质中具有优良的缓蚀性能.该缓蚀剂在4%羟基乙酸和2%甲酸中,酸洗温度为90℃,用量为0.3%时,缓蚀效率达99%以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈晓东		25	111	6.0	9.0
2	郭鹏涛		12	23	3.0	4.0
3	刘彦锋		18	81	6.0	8.0
4	刘世川		19	86	5.0	8.0
5	程雯		7	20	3.0	4.0
6	马思远		2	8	2.0	2.0