人造含硼金刚石单晶表面形貌与生长机制研究

• 作者: 亓永新 宫建红 李木森 王美 阮立群 高军
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石单晶 表面形貌 高温高压 生长机制
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 15-20
• 页数: 6页
• 分类号: TQ164
• 字数: 3744字
• 语种: 中文

摘要

本文借助Olympus光学显微镜、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对高温高压合成的含硼金刚石单晶表面形貌进行了分析.研究发现,含硼金刚石表面存在蚀坑、球形颗粒集团、平行台阶、花瓣状生长丘和三角形螺旋台阶等多种表面形貌.这些形貌与晶体内部的缺陷有关,硼原子的进入使金刚石晶体生长速度增加,位错增多,进而导致不同表面形貌的形成,螺旋位错生长是含硼金刚石的主要生长方式.