基于DOE和BP神经网络对Al线键合工艺优化

• 作者: 李国元 毕向东 胡俊 谢鑫鹏
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 铝丝键合 实验设计 BP神经网络 工艺优化 微电子封装
• 年，卷（期）: 2010,（9）
• 页码范围: 894-898
• 分类号: TN40596|TP183
• 字数: 3133字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2010.09.010

摘要

Al丝超声引线键合工艺被广泛地应用在大功率器件封装中,以实现大功率芯片与引 线框架之间的电互连.Al丝引线键合的质量严重影响功率器件的整体封装水平,对其工艺参数的优化具有重要工业应用意义.利用正交实验设计方法,对Al丝引线键合工艺中的三个最重要影响因数(超声功率P/DAC、键合时间t/ms、键合压力F/g)进行了正交实验设计,实验表明拉力优化后的工艺参数为:键合时间为40 ms,超声功率为25 DAC,键合压力为120g;剪切推力优化的工艺参数为:键合时间为50 ms,超声功率为40 DAC,键合压力为120 g.基于BP神经网络系统,建立了铝丝超声引线键合工艺的预测模型,揭示了Al丝超声键合工艺参数与键合质量之间的内在联系.网络训练结果表明训练预测值与实验值之间符合很好,检验样本的结果也符合较好,其误差基本控制在10%以内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李国元	华南理工大学电子与信息学院	18	94	5.0	9.0
2	毕向东		6	51	4.0	6.0
3	胡俊		4	44	3.0	4.0
4	谢鑫鹏	华南理工大学电子与信息学院	2	31	2.0	2.0