基于双金属膜和法布里-珀罗干涉结构的光纤温度传感器

• 作者: 刘月明 张少君
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 温度传感器 法布里-珀罗干涉腔 双金属膜 光纤
• 年，卷（期）: 2010,（9）
• 页码范围: 1242-1246
• 分类号: TP212
• 字数: 2799字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2010.09.007

摘要

研究了一种新型的光纤法布里-珀罗干涉腔(F-P腔)结构的温度传感器,该传感器的F-P腔由双层金属膜和光纤端面构成,当被测温度发生变化时,基于双层金属膜的"双膜热挠曲效应"使得F-P干涉腔长发生变化,从而导致F-P腔输出的光强发生变化,通过测量该光强的变化即可测定相应的待测温度.在理论分析的基础上,运用有限元分析软件ANSYS对传感器的结构参数进行了优化,并对加工和封装后的传感器进行了实验测试,实验结果表明该传感器在测温0 ～ 80 ℃的范围内灵敏度达到了 62.82 nw/℃,综合精度优于±0.7%.该传感器具有结构简单、成本低、量程可根据双金属膜参数自由选择以及灵敏度较高等特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘月明	中国计量学院光电学院	20	131	7.0	10.0
2	张少君	中国计量学院理学院	3	16	2.0	3.0